“常院士在工建委体系内…分量很重。”他顿了顿，声音压低了几分，“当年国防科工委改制重组，某种意义上就是围绕着整合他和他所代表的前沿科技力量进行的……这样一号人物没谁得罪得起，他提要求，我们不可能拒绝。”

　　随后左右踱了两步，又抬头看向吴明翰：“只是，产线毕竟是核心中的核心，流程和安全规范不能破例……常院士明确随行人员了吗？”

　　“听他的意思，应该只有他自己……”吴明翰回忆道，“当然应该还包括必要的警卫之类，但总之规模不会大。”

　　“嗯。”周学迅速拿出随身的小本子记下，“另外，他有没有透露什么？比如，为什么突然对制造环节这么感兴趣？这似乎偏离了他一贯的研究领域。”

　　吴明翰思索着：“他提到火炬集团和火炬-C.B.法拉利在布局智能制造和工业物联网，需要高规格芯片供应……但这肯定是个托词。”

　　周学并非专业技术人员，但从业多年总归有点基本认知，也点点头表示同意对方的判断。

　　“非要说的话……”吴明翰微微皱眉，“可能是火炬实验室在某种关键材料上取得了突破，而这种材料与我们半导体制造，特别是光刻环节，存在潜在关联。”

　　“材料？”周学笔锋顿了一下，“如果真是这样的话，你觉得对我们……会有什么影响？”

　　“这想象空间可太大了……”吴明翰撇了撇嘴“可能是光刻胶，可能是掩模版材料……但没有具体信息，这些都是瞎猜。”

　　周学若有所思地点点头，合上本子：

　　“明白了。你先回去，这事我来处理，尽快给你答复。”

　　送走吴明翰，周学看了眼餐厅的牌子，突然变得毫无胃口。

　　他转身快步，回到自己的酒店房间。

　　关门、上锁，打开笔记本电脑，一气呵成。

　　很快，便发起了一场临时的核心层视频会议。

　　屏幕上，董事长徐志坚、CEO赵俊华以及另外两名关键董事的头像陆续亮起。

　　还有两位在出差途中，实在无法参会。

　　好在人数已经过了决策所需的三分之二门槛，而且关键角色都在。

　　周学直切主题。

　　“……工建委总顾问、航空动力集团的常浩南院士，刚刚通过吴明翰院士提出，希望近期参观我们津门基地的生产线……”

　　他用尽可能快的速度，把刚才吴明翰汇报的内容重复了一遍：

　　“吴院士已经代表公司口头同意，并表示常院士希望看到最真实的生产状况，而非表演，考虑到常院士的身份特殊，且要求突然，我需提请各位紧急审议。”

　　说到这里，他目光扫过屏幕，突然意识到有一位董事是新加坡籍，未必非常了解国内的人事情况。

　　于是又专门强调道：“常浩南院士的身份和影响力很足，某种程度上，甚至可以代表工建委框架内的科技意志和战略资源，他主动要求深入我们的核心制造区域，这个信号本身，非同小可。”

　　视频那头一阵短暂的沉默。

　　董事长徐志坚率先开口，声音沉稳有力：“常院士的名字就是份量。他亲自点名下产线，这本身就是一种重视，甚至是某种信号。我原则上同意全力接待，开放所有必要区域。周董，你做得对。”

　　随后又看向其他董事，“各位意见？”

　　“同意。”

　　“附议。”

　　另外几人迅速表态。

　　在这件事情上，任何正常人都不会做出不同的选择，自然没什么分歧。

　　但很快，CEO赵俊华就蹙起眉头，用审慎的语气说道：“开放所有区域没有问题，但状态……是否包括我们正在攻坚的多重曝光实验区？”

　　“我的意思是，那里良率极低，报废晶圆堆积，设备调试的窘迫和失败案例比比皆是……”

　　他话语未尽，但担忧显而易见——

　　担心影响公司形象，乃至影响未来的资源倾斜。

　　周学立刻接话：“赵总，我认为现在不是顾虑‘形象’的时候。”

　　一名董事也表示赞同：

　　“我们华芯国际在IC代工领域的主要对手不在国内……至少不在大陆，所以常院士此行的目的，恐怕也不是要来给我们打分评级，如果遮遮掩掩，反而可能错失某些关键契机……”

　　“……”

　　二人的意思很明确：

　　华芯国际如今属于业内龙头，即便在国际范围内也只有三星、台积电、英特尔、联电半导体等少数竞争对手。

　　所以，无论常浩南最终带来的是信息、资源，还是某种颠覆性的技术路径，他们都必然是最直接的受益者和合作者，不用担心什么形象问题。

　　实际对方也没得选。

　　赵俊华本来也并非特别坚定，之前的顾虑更多是出于职业本能。

　　听过这番分析后，眉头也渐渐舒展开来：

　　“那么……这方面我也没有意见。”

　　“好！”徐志坚点点头，“那我提议就由老周具体负责，立刻协调津门基地，全力准备接待常院士。”

　　虽然说是提议，但这种本来已经达成一致的事情，董事长的提议基本就是决定。

　　因此，所有人都点头表示同意。

　　谨记着，徐志坚又继续给出了更细节的指示：

　　“要求：第一，安全规范严格执行；第二，参观路线精心规划，既要展示我们成熟的量产能力和技术储备，也绝不回避当前的任何瓶颈；第三，组织最强的技术团队随行，随时准备解答常院士可能提出的任何深度技术问题，我来负责现场，吴院士全程技术陪同……”

　　周学突然打断：“常院士的意思是，不要过于兴师动众，由参观地进行组织即可。”

　　徐志坚一愣，然后笑了笑，从善如流：“那我和老赵就不出面了，让津门基地的黄炜负责现场……”

　　“……”

　　决议迅速得到全体确认。

　　华芯国际这艘巨轮，因常浩南一个意外的参观请求，开始缓缓调整航向。

第1607章 多重曝光

　　三天后，未来信息产业大会圆满落幕。

　　常浩南婉拒了后续的交流活动，在周学和两名便装警卫的陪同下，乘坐一辆低调的中巴车，直奔华芯国际设置在津门海河新区的生产与研发基地。

　　按照常浩南本人的要求，基地没有设置盛大的欢迎仪式。

　　只有负责人黄炜和提前一天回津的技术总监吴明翰，以及几名核心技术人员安静地等候。

　　看到常浩南下车，为首两人立刻迎上前。

　　简短的寒暄后，常浩南一行人便在专人引导下，前往更衣区。

　　晶圆制造对洁净度的要求比手术室严格百倍，因此在进入核心区域之前，必须换上全套特制的无尘服，并经过严格的风淋除尘程序。

　　踏出气动闸门之后，空气里就只剩下特有的洁净室气味，以及微弱的机器嗡鸣。

　　透过观察窗，可以看到一批完成抛光和清洗、表面光洁如镜的硅片，正被机械臂精准地送入沉积区，进行着薄膜生长。

　　“常院士，这是我们最基础的环节之一，硅片的制备和初始加工。”黄炜的声音透过通讯系统传来，“经过表面处理、清洗、沉积必要的镀膜作业之后，晶圆才会进入后面的光罩制作……也就是光刻环节。”

　　黄炜一边介绍流程，一边注视着自动化流程的完成。

　　正巧，一个批次的晶圆刚刚完成镀膜，被机械臂取出。

　　他示意操作员取出一片样品，隔着专用视窗展示给常浩南。

　　晶圆表面反射着顶灯的冷光，呈现出均匀的光泽。

　　常浩南俯身盯着晶圆的尺寸和边缘，伸手隔着玻璃比划了一下，问道：“黄总，这一批是200mm（8英寸）？”

　　“是的，常院士。”黄炜肯定道，“这是我们目前量产的主力尺寸。”

　　旁边的吴明翰适时补充：“12英寸（300mm）的产线还在备产阶段，主要是……现在公司的资金和顶尖工程资源，绝大部分都集中投入到光刻环节的突破上，尤其是利用现有深紫外（DUV）设备攻坚更先进制程的研发。”

　　“不过从技术储备的角度，我们并不落后太多，一旦资金或关键设备到位，提速会很快。”

　　常浩南微微颔首，没有多言，示意继续前行。

　　“后面就是光罩制作区了。”黄炜一边引路一边介绍，“把IC设计图用电子束刻在石英片上，就能制成光罩，这个东西类似照相底片，刚才生产的晶圆就是相片纸，基本原理和洗照片差不多。”

　　虽然不完全准确，但足够生动，哪怕是外行也很容易理解。

　　“这里是我们给客户提供代工服务的主力区域。”黄炜指着几台正在运行的光刻机介绍：“除了满足国内IC设计公司的需求之外，我们也承接像德州仪器等国际厂商的部分订单。”

　　常浩南微微露出惊讶的表情，只是隔着面罩展现不出来。

　　“还有外国订单？”

　　“嗯，产品主要面向国内和中亚市场。”吴明翰解释道，“中低水平制程这块，我们流片的良率和速度都有优势。”

　　常浩南突然意识到，如今半导体产业的情况，要远比自己过去那条时间线上复杂得多。

　　介绍间，黄炜注意到常浩南的目光并未停留在运行中的量产设备上，而是投向了不远处一个被透明围挡隔开的区域。

　　那里同样属于光罩制作区，但周围聚集的技术人员更多，氛围也更显紧张和专注。

　　“常院士，那边是我们的研发攻坚区。”黄炜解释道，“您也看到了，生产和研发在光刻这个环节，很多时候是共用同一条线，设备和技术是互通的。”

　　“那边就是在尝试双重甚至四重曝光技术，目标是用我们现有的NXT：1950i DUV光刻机，向更小的特征尺寸发起冲击。”

　　常浩南的目光转向吴明翰：“这就是之前您提到的，良品率最低、成本最高的环节？”

　　吴明翰脸上浮现出复杂的神情。

　　他没有直接回答，而是引着常浩南走向该区域旁边一个专门的陈列台。

　　“常院士请这边看。”

　　陈列台上并非闪闪发光的成品芯片，而是整齐摆放着数十片晶圆。

　　乍看之下，它们与刚才看到的完成镀膜的晶圆似乎并无太大区别。

　　常浩南转向对方，等待着更进一步的说明。

　　吴明翰拿起靠近他的一片晶圆，指着上面几处微小的、肉眼几乎难以分辨的重影区域：“这就是‘套刻误差’导致的报废。在多重曝光中，第一次曝光形成的图案和第二次曝光需要精确对准。哪怕只有几纳米的偏差，迭加后整个电路就失效了。”

　　他放下这片，又拿起另一片，指着表面某些线条粗细明显不均的地方：

　　“这是‘关键尺寸偏差’，多次曝光、显影、刻蚀的累积效应，导致不同区域的线宽无法保持一致，超出了规格极限。”