“也正是因此，我今天才会专程来火炬实验室，考察国产光刻机的研制进度……还有后续的发展前景。”

　　“上级需要最硬的底牌，来做出抉择！”

　　这一次，常浩南没有马上回答。

　　他倒是理解栾文杰，或者说理解决策层所面临的巨大压力和复杂权衡。

　　“作为一个依赖外向型经济的国家，我们对外部贸易环境的变化确实比较敏感。”

　　常浩南先是坦率地承认，接着又话锋一转：

　　“但是，美国人为什么在这个时候，主动抛出这样一个看似公平、甚至有些让步的方案？”

　　他自问自答：

　　“恰恰说明，他们自己心里也没有必胜的把握和万全的准备……他们的‘联盟’并非铁板一块，他们的企业同样害怕失去庞大的华夏市场，他们也在害怕硬脱钩带来的反噬！”

　　“所以在这个节骨眼上，比的就是谁更能绷得住！谁的意志更坚定！谁的底牌更硬！”

　　栾文杰当然也明白这个道理。

　　只是有些话，上级不表态，他也不太好直接说出口。

　　所以没有接话，只是延续了刚才的话题：

　　“上级现在最担心的一个点在于，长光集团在短期内仍然无法解决EUV光源的问题，而未来2-3年内，芯片制程有可能进一步从7nm升级到5nm。”

　　“就算我们凭借ArF-1800，利用DUV光源能解决当下7nm制程的燃眉之急，又能否满足中长期的要求？”

　　这个问题，显然已经比较具体了。

　　而且直接指向这场科技对抗最深远、最核心的命门。

　　常浩南没有立刻回答。

　　他微微垂下眼帘，似乎在思考，又似乎在等待。

　　办公室里陷入了短暂的寂静。

　　只有墙上挂钟的秒针，发出规律而清晰的“滴答”声。

　　忽然，常浩南站起身。

　　动作干脆利落。

　　“栾主任，口说无凭。”

　　他脱掉西装外套，然后从衣架上取来两套淡蓝色工装：

　　“正好，测试中心那边，今天安排了ArF-1800光刻机物镜系统最关键的一轮集成测试，数据采集应该正在进行中。”

　　他走到栾文杰面前，把其中一件交给对方：

　　“百闻不如一见，请您移步，跟我去亲眼见证一下……看看我们手中这张‘底牌’，到底有多硬。”

　　“至于EUV……”常浩南再次露出了和刚才拿出维生素片时一样的神秘笑容，“或许，看完测试，您会有一些新的想法。”

　　栾文杰精神一振，蹭地一下立刻站起身。

　　“那常院士，请带路！”

　　两人一前一后，快步走出办公室。

　　一直等候在外面的几名秘书和警卫紧随而后。

　　走廊里响起众人急促的脚步声，直奔大楼深处那座超净测试中心而去。

　　房门在身后轻轻合上。

　　办公室内，电脑屏幕上那篇鼓吹“投诚”的长文，依旧停留在那里。

　　在无声中，显得格外苍白而可笑。

第1621章 从40nm到27nm的跨越

　　几分钟后。

　　换上防护服的一行人跨过双层气密闸门，轻手轻脚地踏入到崭新设立的无尘测试间。

　　视线透过防护面罩的视窗，栾文杰几乎瞬间就捕捉到了房间中央那座巨型光学平台。

　　形似手术台却被放大数倍，其上密布着调整架、导轨与传感器接口，几束不同颜色的指示激光束在平台上方交错扫描，令人有些目眩。

　　平台周围，则是七八个身着连体式白色无尘服、头戴全封闭护具的忙碌身影。

　　张汝宁，还有他的团队。

　　大部分人都沉浸在自己的任务里，对身后气密门的开启与访客的到来浑然不觉。

　　只有坐在主控电脑前的何修军此时任务较轻，眼角余光瞥见了气密门开启的微弱指示灯变化，以及随后鱼贯而入的常浩南众人。

　　他下意识地要起身，但动作刚到一半，就看到常浩南隔着面罩对他压了压手掌，示意继续工作。

　　何修军立刻会意，强行按捺住心中的惊异，重新将注意力聚焦到屏幕上跳动的数据和波形图上。

　　直到大约二十分钟后，伴随着仪器发出一阵清脆的提示音，控制台上的最后一组指示灯随之由红转绿。

　　张汝宁如释重负地舒了口气，肩膀微微松弛下来。

　　然后习惯性地转身，准备招呼大家短暂休息。

　　然而，这一转身，整个人瞬间就僵住了。

　　几米开外，正伫立着几个身影。

　　跟他们一样，都穿着封闭的白色无尘服。

　　由于面罩的存在，看不太清楚面孔。

　　只能从体型和动作习惯中分辨出，为首二人中的左边那位，应该是常浩南。

　　至于剩下几人，则不像是火炬实验室的成员。

　　“常院士？”

　　张汝宁的声音透过面罩，显得有些瓮声瓮气，但还是能听出明显的错愕，眼神也在几人之间游移不定。

　　栾文杰倒是知道眼前就是常驻火炬实验室进行系统研发的长光集团技术团队，但因为同样的原因，也分不清其中谁是谁。

　　好在常浩南及时开口，向二人分别介绍了对方的身份。

　　这下，栾文杰总算有了精确的目标，上前几步来到张汝宁面前，主动跟他握了握手。

　　而后者在听过刚才的介绍之后，就已经脑子嗡的一声愣住。

　　工建委一把手！

　　他下意识地就想说些“欢迎领导视察指导”之类的场面话，但到了嘴边却又猛地卡住——

　　眼下可是在火炬实验室的地盘上，自己身为临时来此工作的合作方，做出欢迎表态似乎有喧宾夺主之嫌。

　　结果僵在原地，一时不知如何是好。

　　一股微妙的尴尬瞬间弥漫开来。

　　“栾主任，刚刚被提升起来的那两个模组，就是我们专门给SMEE ArF-1800光刻机研发的物镜系统，还有作为对照组的ArF-1500物镜”

　　又是常浩南及时开口，把众人的注意力转移到了旁边的测试平台上。

　　无形的压力瞬间消失，张汝宁如蒙大赦，立刻接上话题：

　　“我们刚刚进行的测试，就是在193nm的DUV光源条件下，对比新旧两种物镜方案的性能……”

　　栾文杰并非光学系统或者半导体出身，之前也没看过光刻机被大卸八块之后的样子，所以下意识来到体积更大的1500模组旁边，左右看了一圈然后才瞄向另一边体积更加紧凑的1800模组。

　　“体积大了这么多？”

　　显然，他是把更大的模组当成了更先进的。

　　当然传统上，光刻系统的物镜组也确实是性能和体积成正比。

　　只不过常浩南的路子实在不同寻常。

　　张汝宁赶紧解释：

　　“我们采用了火炬实验室提供的负折射材料，结合常院士提出的‘折反镜一体设计’理念，大大简化了物镜组的光学设计。”

　　听到“简化”两个字，栾文杰才意识到自己把目标给搞反了。

　　好在还没把脸给丢出去，所以又故作沉着地踱步到更小的那个模组旁边，微微俯身，似乎想从眼前繁复的结构中找出些许相似之处。

　　只是理所当然地失败了。

　　“传统的折反式物镜组内部包含超过三十片精密镜片，用于校正像差、色差，并尽可能提升数值孔径……不仅结构复杂，体积和重量很大，而且其中的反射元件对于加工精度的要求非常苛刻。”

　　张汝宁进一步介绍道：

　　“而在更新的1800物镜组里面，大部分功能被集成在少数几片核心镜片上，独立光学元件的数量缩减到14个，所以体积比老型号小了一半以上……”

　　“……”

　　就在这时，一直坐在控制电脑前的何修军突然站了起来。

　　“张组长，最新一组测试数据已经处理完成！”

　　他走到张汝宁同时也是走到栾文杰身边，汇报道：

　　“193nm波长下，1800物镜组的等效数值孔径（NA）实测最大值为1.8009，最小值为1.7996，NA一致性达到±0.0013，该数值远优于我们设计指标要求的±0.006，也完全符合设计方案中理论NA值1.80的预期……”

　　“全视场振幅极化量RMS（均方根值）实测最大11.85%，最小11.80%……”

　　“全视场相位延迟量RMS实测最大3.77nm，最小3.45nm……”

　　实际上，这里面的多数参数都是之前就已经测完的，而且往常也不需要他专门汇报一遍。

　　报告导出来，大家分别翻阅就行了。

　　但此刻面对亲临一线的栾文杰，这份详尽到几乎冗余的数据汇报，就显得格外“恰到好处”且分量十足。

　　“等等。”

　　果然，栾文杰打断了后续的参数报告。