他神情一肃,目光扫过面前众人:
“同志们,在座的每一位,都是经过组织严格审查,能力和立场都绝对可靠的骨干!”他加重了语气,“但也正因为都是骨干,所以才更不能把你们全部抽调走!”
接着又指了指范洪杰:“尤其是你,老范!”
“要是你我正副组长,带着整个核心团队全都消失了,那外界岂不是一眼就看出咱们项目内部发生了变动?还谈什么保密?”
这段解释非常合理也很容易被大家接受。
众人的表情好看了不少。
张汝宁也停顿了一下,又转而带上了真诚的歉意:
“但不管怎么说,这段时间,确实委屈同志们了!”
“我知道你们承受了巨大的压力,付出了艰辛的努力。”
“你们的坚守,本身就是对这项国家战略任务最重要的支持!”
“我张汝宁在这里向大家保证!”
他的声音陡然拔高:
“未来1800光刻机功劳簿上,绝对少不了你们这些‘留守功臣’的名字!”
“……”
瞬间,会议室里的气氛被彻底点燃。
压抑已久的斗志和好奇心汹涌而出,众人纷纷请缨,希望能奔赴上沪,亲眼见证那“颠覆认知”的新型光刻系统!
……
三天后。
上沪微电子装备集团(SMEE)研发与装配中心。
巨大的厂房在冬日阳光下泛着金属的冷光,一辆大型牵引式卡车的货箱敞开着,停在专用卸货口前。
里面却已经空空如也,显然是已经完成了卸货。
装配中心负责人寿荣昌带着几名核心技术人员,早已等候在此。
看到张汝宁和栗亚波一行人下车走来,立刻迎了上去。
脸上带着难以抑制的期待:
“张研究员!栗教授!”寿荣昌热情地握了握二人的手,“一路辛苦了,欢迎欢迎!”
接着又看向稍远处:
“长光的同志们,也辛苦你们了!”
张汝宁与寿荣昌算是老相识,也笑着回应:“寿主任客气了,我们也是奉命而来,责无旁贷……”
“……”
简短的寒暄过后,前者环顾了一下四周,目光落在那辆空卡车上:
“看样子,东西已经就位了?”
“早就到了!”寿荣昌连连点头,语速都快了几分,“昨天下午专机运抵,今天凌晨在超净装卸工位完成的卸车和初步环境稳定,现在就等着你们这些‘娘家人’来主持技术对接,还有后续的整机集成呢!”
他侧身做了个请的手势:
“走,咱们先进去,换衣服,东西就在里面。”
路上,或许是为了避免冷场,也或许是单纯好奇,寿荣昌回头打量了几番身后人群,然后有些疑惑地凑到栗亚波近前:
“栗教授,火炬实验室的负责人……我记着应该是常浩南院士,他没跟过来么?”
“老师他……这两天有其它事情。”栗亚波顺便瞄了眼门口万年历上的日期,“等几天正式进入装配流程的时候,他再过来。”
……
一行人换上最高等级的无尘服,经过严格的风淋除尘,进入了核心的光学装配车间。
车间内恒温恒湿,洁净度达到不可思议的级别。
刚走进气密大门,一行人的目光就被车间中央一个精致的、闪烁着金属冷光的方形货柜牢牢吸引住了。
货柜通体银灰色,表面没有任何标识。
只有几盏小小的状态指示灯。
它静静地矗立在专用承托平台上,像一位等待揭幕的明星。
此时,货柜旁边还站着另外几个人,同样穿着无尘服。
寿荣昌立刻介绍道:
“张研究员,栗教授,这几位是华芯国际负责对接的技术代表。”
“他们会全程跟进我们的总装调试过程,以便设备一交付,就能在最短时间内组织起7nm芯片的生产线!”
为首一人转过身。
虽然隔着面罩看不清脸,但也能感觉到是一位性格沉稳的中年人。
听到张汝宁的名字之后,当即伸出手,抢在寿荣昌之前自我介绍:
“我是黄炜,目前负责津门海河基地。”
张汝宁握住黄炜的手,言简意赅:
“张汝宁,长光集团,负责物镜系统。”
长光集团和华芯国际之间就隔了一层关系,不过二人之前也共同出席过几次行业会议,算是点头之交。
只是情况特殊眼下显然不是叙旧的好时机。
寿荣昌示意旁边的工作人员递上一份厚厚的交接文件。
张汝宁接过,快速翻到签名页,郑重地签下自己的名字。
笔尖划过纸张的沙沙声,在极度安静的无尘车间里显得格外清晰。
这标志着,这套寄托了无数期望的核心模组,正式由研发方移交给了集成方。
行政流程结束。
技术交接,正式开始!
第1632章 这技术我真没见过
寿荣昌深吸一口气,努力让自己的声音显得浑厚。
但因为面罩的缘故,反而有些沉闷:
“开箱!”
两名早已准备好的smee工程师,一脸严肃地走到货柜前。
他们各自手持一把造型奇特的银色钥匙,并分别将其插入位于货柜上下两端的两个锁孔。
两人默契地同时开始倒数:
“三……二……一……开!”
两柄钥匙几乎同时转过90°、
货柜正面,一盏醒目的红灯瞬间跳转为稳定的绿灯!
“滴滴!”电子锁解除的提示音短促而清晰。
紧接着,一阵轻微的液压泄气声传来。厚重的双层合金柜门,沿着精密的滑轨,缓缓地、平稳地向两侧无声滑开。
一层厚厚的、透明度极高的钢化玻璃护罩显露出来。
透过玻璃,可以清晰地看到被多层柔性防震材料牢牢包裹、固定在特制支架上的核心——
那套传说中的“全新物镜系统”模组。
模组整体呈圆柱形,体积比众人想象中要紧凑得多。
虽然镜片表面全都覆盖着黑色的遮光保护罩,但大致轮廓和镜片分布清晰可见。
“咦?”
跟在张汝宁身后的范洪杰忍不住发出一声低低的惊呼,在极度安静的车间里显得格外清晰。
他立刻意识到失态,有些尴尬地扶了扶护目镜,解释道:“抱歉……我是说,这模组的集成度……在duv系统里,我至少有十来年没见过了!”
十几年前,duv光源才刚刚引入光刻系统。
模组简单,是因为性能相对较低。
但现在拿出这么个紧凑的系统,显然是另一回事。
“别急。”张汝宁回头看了他一眼神秘地笑了笑,“更让你震惊的,还在后面呢。”
语毕,他和寿荣昌二人亲自上前,小心翼翼地一齐发力将巨大的护罩缓缓移开。
紧接着,几名穿着洁净服、戴着特制手套的工程师上前,在张汝宁的亲自指导下,极其谨慎地解除了模组的固定装置,然后合力将其沿着精密滑轨,平稳地转移到旁边一个特制的光学装配平台上。
当模组稳稳落位后,最关键的时刻到了。
又是两名工程师上前,用特制的工具,极其轻柔、精确地,逐一取下了覆盖在每一个镜片组上的黑色遮光保护罩。
物镜组的真容,终于毫无保留地展现在所有人眼前!
银灰色的精密金属镜筒内,十四个大小不一、形状各异的镜片组按照特定的顺序排列组合,镜片边缘在无影灯的照射下闪烁着独特的光泽。
“这……”孔学武双眼猛地瞪圆,下意识地往前凑了一步,有些难以置信地嘟囔着,“这……这光路结构……怎么看着像个……复古的纯折射式物镜组?”
要知道,从三代之前的arf-850开始,长光集团就放弃了纯折射模组,转而引入折反式系统。
寿荣昌也眉头紧锁,绕着装配平台走了一圈,手指在虚空中比划着。
他作为整机集成专家,对光路极其敏感。
“奇怪……”寿荣昌的语气中充满困惑,“我好像有点看不懂这个镜头组的光线通路……”